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Aligner 晶圆预对准装置
Aligner 晶圆预对准装置是新松公司自主研发的一种晶圆校准装置，用于晶圆进入关键工艺腔体前的晶圆几何中心校正和取向校正，精准识别晶圆的位移和角度偏差，为后续工艺提供了可靠的基准，广泛应用于半导体制造的各个阶段
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产物优势
产物参数
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Aligner 晶圆预对准装置
产物优势
全自研解决方案
核心部件均自主研发
兼容性
可兼容多材质晶圆
适配性
可适配多尺寸晶圆
精准识别
精准识别晶圆的位移与角度偏差
产物参数
晶圆纠偏精度
±0.1mm
晶圆转角精度
±0.2°
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