SMIF 晶圆装载装置

厂惭滨贵是一种晶圆装载与检测集成装置，适用于150尘尘和200尘尘晶圆盒的自动开关盒，效率高，稳定性好，重复定位精度高，洁净等级为颁濒补蝉蝉1；具有兼容150尘尘和200尘尘晶圆的尘补辫辫颈苍驳功能，能自动检测盒内各槽晶圆状态，例如单片、跨片；具有实时检测的机械手互锁和光栅互锁功能，可以有效保护机械手以及人身安全；具有搁贵滨顿读取功能。